Furon?UPBM氣動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器
高純背壓調(diào)節(jié)閥
基本參數(shù)
Furon UPBM壓力調(diào)節(jié)器可利用氣動(dòng)或手動(dòng)執(zhí)行器保持流體管路中的預(yù)定輸入壓力(背壓)。最終用戶可以通過(guò)調(diào)節(jié)先導(dǎo)氣壓控制所需的流體輸入壓力。Furon調(diào)節(jié)器不包含外露金屬零件。經(jīng)過(guò)改進(jìn)的PTFE隔離膜片可保護(hù)執(zhí)行器組件不受過(guò)程介質(zhì)影響,從而確保不會(huì)受到金屬元素污染。Furon UPRM壓力調(diào)節(jié)器由100%高純PFA和PTFE接液部件制成,適用于半導(dǎo)體行業(yè)中常見(jiàn)的超純、刺激性或腐蝕性化學(xué)物質(zhì),或需要使用氣動(dòng)執(zhí)行器或手動(dòng)執(zhí)行器并要求高純度和/或高耐化學(xué)性的任何其他應(yīng)用。UPBM調(diào)節(jié)器專門(mén)設(shè)計(jì)用于要求在任何流速下完全消除嘯叫和顫動(dòng)的侵蝕性純凈化學(xué)品和去離子水應(yīng)用的輸送。這款精密調(diào)節(jié)器由完全原始的PTFE/Fluoroloy-T接液流體通路制成,適用于半導(dǎo)體和化學(xué)加工行業(yè)。