Furon?UPRM氣動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器
高純壓力調(diào)節(jié)器
基本參數(shù)
Furon UPRM壓力調(diào)節(jié)器由100%高純PFA和PTFE接液部件制成,適用于半導(dǎo)體行業(yè)中常見的超純、刺激性或腐蝕性化學(xué)物質(zhì),或要求高純度和/或高耐化學(xué)性的任何其他應(yīng)用。經(jīng)過(guò)改進(jìn)的PTFE隔離膜片可保護(hù)執(zhí)行器組件不受過(guò)程介質(zhì)影響,從而確保不會(huì)受到金屬元素污染。