精密磨削一般使用金剛石和立方氮化硼等高硬度磨料砂輪,主要靠對砂輪的精細修整,使用金剛石修整刀具以極小而又均勻的微進給(10～15mm/min)，獲得眾多的等高微刃，加工表面磨削痕跡微細，最后采用無火花光磨，由于微切削、滑移和摩擦等綜合作用，達到低表面粗糙度值和高精度要求。超精密磨削采用較小修整導程和吃刀量修整砂輪，靠超微細磨粒等高微刃磨削作用進行磨削。精密與超精密磨削的機理與普通磨削有一些不同之處：

（1）超微量切除。應用較小的修整導程和修整深度精細修整砂輪,使磨粒細微破碎而產(chǎn)生微刃。一顆磨粒變成多顆磨粒，相當于砂輪粒度變細，微刃的微切削作用就形成了低粗糙度。

（2）微刃的等高切削作用。微刃是砂輪精細修整而成的，分布在砂輪表層同一深度上的微刃數(shù)量多,等高性好,從而加工表面的殘留高度極小。

（3）單顆粒磨削加工過程。磨粒是一顆具有彈性支承和大負前角切削刃的彈性體,單顆磨粒磨削時在與工件接觸過程中,開始是彈性區(qū),繼而是塑性區(qū)、切削區(qū)、塑性區(qū),最后是彈性區(qū),這與切屑形成形狀相符合。

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